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肯富來水泵
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前級泵是為了降低羅茨泵的排出壓力

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點擊次數(shù):  更新時間:2017-03-15 09:36:32  【打印此頁】  【關閉

羅茨真空泵不能獨自使用,要配上前級泵構(gòu)成機組,運用前級泵是為了下降羅茨泵的排出壓力,因為真空泵的壓縮比是有限的,所以挑選前級真空泵的抽速是主要的,真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而改變的,在高排出壓力下,最大壓縮比最多大31,而最高壓縮比是在排出壓力為110mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達50:1,乃至更高些。

因而,挑選前級泵的抽速,要根據(jù)肯富來真空泵的長時間作業(yè)壓力范圍思考。

例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機組抽氣,請求在1 mbar進口壓力時有600/秒的抽速,并長時間作業(yè),問應挑選多大抽速的前級泵。先假定用30/秒的前級泵時,壓縮比K=60030=20得出K=20時最大排出壓力為30 mbar。

由此得出,當選用30/秒前級泵時,在進口壓力低于1.5 mbar以下作業(yè)是可行的,但高于1.5 mbar進口壓力作業(yè)時就選用大一些前級泵了。該例中,作業(yè)真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30/秒的前級泵可以滿意上述真空系統(tǒng)的抽氣請求。

首先應當思考的是,對預抽時間的請求疑問,假設正常作業(yè)時間遠比預抽時間長,可選較小的前級泵;假設真空室較大,而且請求很快預抽,就要用較大的前級泵,有時為了非常好表現(xiàn)設備的功率,機組裝有較大的預抽泵,在正常作業(yè)后停掉它,而用較小的前級泵保持,這樣做是為了節(jié)省功率。當選用往復式或液環(huán)式粗真空泵作為真空泵的前級泵時,前級泵的抽速通常為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,不然將使壓縮比過大,形成真空泵的排氣溫度高而不能正常作業(yè)。

選用前級泵時還有必要思考被抽氣體中是不是有腐蝕性介質(zhì),是不是富含可凝性氣體,是很多的仍是微量的。假設富含腐蝕性氣體,就不能選用油封機械泵,油封機械泵還不適合抽除富含很多可凝性蒸汽的氣體,不然將會使密封液很快乳化,抽除富含微量可凝性蒸汽的氣體時,也有必要選用帶有氣鎮(zhèn)設備的油封機械泵作為前級泵。

對真空泵機組的極限壓力的請求,也是挑選前級泵的有必要思考的,對極限真空度請求較高(1X10-3Pa1X10-2 Pa壓力)通常選用雙級旋片式油封機械泵或雙級滑閥機械泵作為前級泵。極限真空度請求在(1X10-2 Pa1X10-1Pa)之間可選用單級油封機械泵作為前級泵,極限真空度請求在1331333Pa之間可選用往復式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

為了取得在低進口壓力(1~100pa)時的高的抽氣速率,可用一臺真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵構(gòu)成的三級或四級機組,此刻羅茨真空泵之間的抽速比通常在2~5之間。



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